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SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪

简要描述:我们的SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪允许定量化学浓度。全在线化学监测能够实时校正溶液成分,从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性。监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来,并在产品质量受损之前迅速纠正。

  • 更新时间:2023-12-28
  • 厂商性质:生产厂家
  • 产品型号:
  • 访  问  量:1690
详情介绍

SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪


SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪为工程师提供了准确性、可靠性和灵活性的过程监控,可以提高效率、保证晶圆制造的一致性,以满足更高的良率和容错的要求。在竞争激烈的微电子工业中,如果不使用复杂的监测和控制来确保晶圆制造的一致性,晶圆的制造成本将大大提高。


我们的SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪允许定量化学浓度。全在线化学监测能够实时校正溶液成分,从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性。


监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来,并在产品质量受损之前迅速纠正。


产品选项  


多个样本点

额外的5 mL数字滴定管

附加传感器

安全联锁装置

试剂低液位检测


优势  


增加工具产量

降低化学品成本

实时过程监控

降低批量损失

降低所有者成本


应用    


铜化学机械抛光

钨化学机械抛光

湿法蚀刻

清洁

DSP+

氮化物蚀刻

PAN蚀刻  

食人鱼蚀刻

HF


产品特点


4个4-20 mA 模拟输出

8个可编程继电器

以太网和 RS232 串口

彩色触摸屏

集成试剂储存

单采样点

1个5mL数显滴定管

多个传感器输入



规格


分析方法 电位法/标准加入法/光度法
精确度1±0.2%显示值
误差度10.2%相对误差
测量时间少于5分钟/分析(取决于应用)
校准频率自开始起2
样品消耗量小于 5 mL/
样品量0.05 5 mL(取决于应用)
样品温度低于93℃(200℉)
耗水量少于1000mL/次
样品入口/返回小于30 psi  
0.5升/分钟
1/4"外径扩口接头
1"FPT 密封联轴器
去离子水20-40 psi
2升/分钟
1/4"外径扩口接头
CDA 60-80 psi
1/4"外径快速接头
过程排放3/4"NPT 重力排放
机箱排水1/2"NPT 重力排放
电源110 /220 VAC50 /60 Hz1 /0.5A 现场可切换
排水1 7 /8" OD @ 17 CFM
外形尺寸39.00"H x 27.00"W x 16.00"D































1仅指“硬件"。应用、化学和工艺条件等外部因素会影响系统准确度和精密度。

2这不包括 pH 传感器的校准。有关详细信息,请参阅安装和操作手册。Entegris 相信此处包含的数据是真实的,所表达的意见是合格专家对所进行测试的结果的看法,这些数据不应被视为 Entegris  承担法律责任的保证或陈述。提供的数据仅供考虑、调查和验证。对这些数据和信息的任何使用都必须由用户决定,以符合联邦、州和当地的法律法规。所有规格如有更改,恕不另行通知。


规模大小


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