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SemiChem 在线浓度监测仪

简要描述:我们的 SemiChem Advanced Process Monitor(SemiChem 在线浓度监测仪)是集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监测可实时校正浆料成分,从而稳定控制工艺生产条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即显现时,可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化,有助于满足更高产品产量的要求。

  • 更新时间:2024-06-04
  • 厂商性质:生产厂家
  • 产品型号:
  • 访  问  量:1062
详情介绍

SemiChem 在线浓度监测仪

Entegris在设计和生产用于半导体制造工艺中的化学机械平坦化(CMP)浆料和配方清洁化学品的高精度分析仪器的有丰富的经验。我们的技术旨在确保复杂混合化学品的精确一致性,并在 CMP和配方清洁工艺中实现高产量。


我们的 SemiChem Advanced Process Monitor SemiChem 在线浓度监测仪)是集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监测可实时校正浆料成分,从而稳定控制工艺生产条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即显现时,可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化,有助于满足更高产品产量的要求。


应用领域

在全球范围内,我们安装了近3000套SemiChem APM系统,用于控制金属 CMP 浓度。它是控制CMP过氧化物的可靠的中心工具,并被证明在微电子环境中的所有湿化学应用中都具有较好的性能,包括:

·铜,钨,阻挡层和金属CMP

·制定清洁

·DSP+

·湿法蚀刻,氮化物蚀刻

·平底蚀刻,食人鱼蚀刻

·高频

·废水


功能与特点


经验证的标准电化学技术提供行业精确的监控,以保证过程化学成分和完整性
提供化学浓度数据,使浆料/化学分配系统能够提供准确的化学浓度
在线的,接近实时检测的系检测挥发性化学物质的工艺偏差,防止产品质量损坏
将实验室技术过渡到在线,实现快速准确的在线控制
坚固耐用的工业设计维持至少8500小时平均工作时间
可经受严峻的工业环境




规格

分析方法电位测定法,标准加成法,光度测定法
电位测量的准确性* 显示值的±0.2%
标准添加的准确性* 显示值的±2.0%
电位测量精度* ±0.2%相对误差
标准添加精度* ±2.0%相对误差
测量时间>5分钟/次(取决于应用程序)
校准间隔 启动时**
样品消耗<5 mL/次
进样量0.05-5 mL(取决于应用)
进样温度最高93°C(200°F)
耗水量<1000 mL/分析
样品进样/排样<207 kPa(30 psi),0.5 L/min
1/4" OD扩口接头,1" FPT安全壳联轴器
去离子水138至276 kPa(20至40 psi)
2.0升/分钟
外径 1/4" 扩口接头
CDA414-552 kPa(60-80 psi)
1/4" 外径快速接头
排水工艺:3/4“NPT重力排水管机柜:1/2“NPT重力
电源110/220 VAC,50/60 Hz,1/0.5 A现场可切换
废气外径1 7/8" @ 17 CFM





























标准功能可选功能

·四个4-20 mA模拟输出

·八个可编程继电器

·以太网和RS232串行

·彩色触摸屏

·单个测量单元

·综合试剂储存

·单个采样点

·一个5 mL数字滴定管

·多传感器输入

·多个采样点

·额外的5 mL数字滴定管

·附加传感器

·安全联锁装置

·试剂微量检测















尺寸



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