客户咨询热线:
18964508029
Product Center产品中心
首页 > 产品中心 > Entegris > Entegris 浓度监测仪 >InVue® GV148 液体浓度监测器

InVue® GV148 液体浓度监测器

简要描述:InVue® GV148 液体浓度监测器可以实时提供测量过程流体的浓度,用于化学混合、提升浓度和稀释,无需中断过程检测。

  • 更新时间:2024-06-04
  • 厂商性质:生产厂家
  • 产品型号:
  • 访  问  量:1175
详情介绍

InVue® GV148 液体浓度监测器

集成一体的实时过程监控系统


InVue®GV148液体浓度监控器可以实时提供测量过程流体的浓度,用于化学混合、提升浓度和稀释,无需中断过程检测。


InVue®GV148液体浓度监控器集成在一个小型密封外壳中,可提供性价比高的浓度监测,使前端(FEOL)、后端(BEOL)和工厂生产系统的工艺效率提高。这种工艺可以使过程控制更为严格, 从而提高工艺效率,减少成本投入,也减少废料的产生。


用户软件强大


采用基于Windows®的HMI软件应用程序来支持 GV148配置和实时监控。该软件允许用户:


·获得实时折射率、流体温度和浓度信息

·自定义折射率以及浓度切换

·获取和分析化学品特定温度补偿的数据

·传感器平衡操作

·查看当前警告信息、系统事件和警告历史信息

·折射率归零 

·配置模拟输出


经过验证的折射率检测技术


GV148监测仪采用经过验证的折射率检测技术,外观小巧,可提供准确、安全和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器可精确测量过程流体的折射率(IoR)和温度。然后,我们将利用这些信息 来计算工艺中液体的浓度。


工作原理


使用折射率技术,当光从平面玻璃或液体表面反 射到光电二极管检测器(PDA)时,InVue®GV148 浓度监测器开始工作。反射角是由液体与窗口之 间的折射率比决定的。定制的算法可以检测反射 光强度的微小变化。这种可以反射几何形状的能 力和小型化设计是InVue®GV148的重大特点。


image.png


应用领域


·H2 O2 溶液混合

·研磨液稀释

·专有添加剂混合

·全球和本地循环监控

·批量溶液混合监控

·容器寿命检测

·CMP后清洁溶液混合


功能与优势


基于折射率的测量

为过程控制提供实时浓度和温度验证

快速响应时间,用于即时偏差检测

测量各种介质中的浓度,包括非导电流体

非直接接触式,保持化学物质纯度和洁净度

符合在线工艺效率要求

含氟聚合物和蓝宝石的超纯润湿表面保持化学物质的纯度和洁净
小巧型电子产品

最小化整体工具体积

轻松集成到新的和现有的工具空间

HMI软件

实时数据记录和分析工具

允许为定制专有化学品浓度监测

用于密切监控系统事件,参数变化和警报历史,包括详细 的事件日志

多种通信选项

RS485、RS422、4-20mA

灵活满足各种控制系统

全密封传感器在恶劣的环境中依旧提供准确性、可重复性和可靠性
背景光扣除算法在背景光存在的情况下依旧保持高准确性
传感器无耗材只需要最少的硬件和预防性维护
镜面清洁端口便于手动清洁蓝宝石镜面
LED状态灯提供监视器频次、通信和错误的指示

可选的N2/DI自动*

原位镜面清洁器

最大限度地减少维护停机时间,特别是在研磨液和亲水性化学品中

























*配备适当的阀门和控制器


功能与优势


传感器结构材料流动池主体聚四氟乙烯(PTFE)*
光学镜面单晶蓝宝石*
电缆护套聚氯乙烯(PVC)
阀盖、外壳聚偏氟乙烯(PVDF)
安装板聚丙烯(PP)
电器设备电缆连接19 pin Turck® male
额定电流启动时1.0A ; 操作期间0.5A
主电压输入24 VDC
IO电压输入12 ‒ 24 VDC
短路保护
外部LED4
模拟输出4 ‒ 20 mA 浓度、流体温度、折射率(RI)
离散数字输入2
离散数字输出最大 2.80 mAdc (各个部件)
复位数字输入、串行命令或HMI软件
串行通信最大压力80psi 40℃(104°F)
工艺流体温度范围20°C to 40°C(68°to104°F)
环境温度范围20°C to 35℃(68°to95°F)
储存温度范围-15°C to 40°C(5°to 104°F)
折射率检测折射率检测范围** 1.32-1.40 nD
准确性±2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD)
重复性5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液体中)
精度3×10-6nD(@20°C[68°F]纯水中)
响应时间<3sec 对63%稳态变化的非平均响应时间
趋势变化<5×10-5nD/30days(@20℃[68°F])
压力敏感度(典型)8×103 nD/psig(@20°C[68°F]纯水中)
符合ROHS标准符合
附件IP54
培训一次





































*亲水性的组件

**对于折射率超出此范围的流体,请联系奥法美嘉


配置


image.png


入口/出口连接端口尺寸

ABC
1/4"Flaretek管配件114.6mm(4.51")33.0mm(1.30")111.0mm(4.37")
3/8Flaretek管配件117.7mm(4.64")34.7mm(1,.37")113.5mm(4.47")
1/2"Flaretek管配件120.9mm(4.76")36.3mm(1.43")119.6mm(4.71")
3/4"Faretek管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")132.6mm(5.22")
1"Faretek管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")154.9mm(6.10")
1/2"Primelock管配件120.9mm(4.76")36.3mm(1.43")122.9mm(4.84")
1"Primelock管配件126.6mm(4,99")38.9mm(1.53")149.6mm(5.891)
1/4"支柱管接头114.6mm(4.51")33.0mm(1.30")100.5mm(3.96")
3/8"支柱管接头117.7mm(4.64")34.7mm(I.37")112.5mm(4.43")
3/4"支柱管接头126.6mm(4.99)38.9mm(1.53")134.5mm(5.29")


















订购须知

InVue GV148液体浓度监测器:配件号


image.png


配件编号描述
GV1CBLH0419针螺旋接头,带4.0米(13.12英寸)聚氯乙烯护套电缆
GV1USBCVTUSB转4线串行转换器



产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7