摘要：化学机械抛光（CMP）是半导体制造中关键的平坦化工艺，而控制研磨液中的大颗粒计数（LPC）对确保晶圆表面质量和提高产品良率至关重要。随着工艺向更小纳米级发展，对LPC的检测精度要求更高。文章讨论了LPC检测的技术难点，包括高浓度样品干...

过滤效率检测仪是一种专门用于测量和评估过滤材料或过滤器对颗粒物、气溶胶等污染物过滤效率的仪器。它广泛应用于材料科学、纺织科学技术、安全科学技术、空气净化、医疗、制药、食品、电子、化工等多个领域。过滤效率检测仪通过模拟实际工作环境，向测试系统...

过滤效率检测仪是一种专门用于测量和评估过滤材料或过滤器对颗粒物、气溶胶等污染物过滤效率的仪器。它广泛应用于材料科学、纺织科学技术、安全科学技术、空气净化、医疗、制药、食品、电子、化工等多个领域。过滤效率检测仪通过模拟实际工作环境，向测试系统...

在线激光粒度仪是一种用于实时监测和分析颗粒粒度分布的仪器，常用于工业过程控制中。这类仪器可以提供即时的数据反馈，帮助优化生产过程，确保产品质量，并满足相关法规的要求。工作原理基于光的散射（衍射）现象。当激光束穿过含有颗粒的介质时，颗粒会散射...

全文共3140字，阅读大约需要12分钟1本文的应用背景尽管铜化学机械平坦化(CMP)已成为半导体制造业实现集成电路局部和全局平坦化的关键技术，但在阻挡层CMP过程中仍有一些问题需要克服，如有机残留物、表面颗粒、蝶形缺陷、侵蚀和划痕，其中，划...

纳米激光粒度分析仪，也称为纳米激光粒度仪或激光纳米粒度仪，其工作原理基于颗粒在液体中的布朗运动及光散射现象。当单色激光照射到悬浮在液体中的纳米粒子上时，粒子会散射光线。由于粒子在液体中做布朗运动，导致散射光的强度随时间随机波动。通过光电探测...

在线计数粒径检测仪是一种集自动进样、自动稀释、自动检测、数据处理以及自动清洗等全自动检测功能于一身的先进设备，它为用户提供了方便、快捷、高效、可靠的粒径分析解决方案。其原理主要基于光的散射或衍射现象，这些现象与颗粒的大小、形状、折射率以及入...

不溶性微粒检测仪是一种用于检测液体中不溶性微粒大小和数量的重要分析仪器，主要采用光阻法或显微计数法来检测液体样品中的不溶性微粒。光阻法是通过激光束照射样本，利用散射光信号的强度和方向来确定微粒的数量和尺寸。显微计数法则是通过显微镜观察并计数...