全文共3140字,阅读大约需要12分钟1本文的应用背景尽管铜化学机械平坦化(CMP)已成为半导体制造业实现集成电路局部和全局平坦化的关键技术,但在阻挡层CMP过程中仍有一些问题需要克服,如有机残留物、表面颗粒、蝶形缺陷、侵蚀和划痕,其中,划...
全文共3140字,阅读大约需要12分钟1本文的应用背景尽管铜化学机械平坦化(CMP)已成为半导体制造业实现集成电路局部和全局平坦化的关键技术,但在阻挡层CMP过程中仍有一些问题需要克服,如有机残留物、表面颗粒、蝶形缺陷、侵蚀和划痕,其中,划...
纳米激光粒度分析仪,也称为纳米激光粒度仪或激光纳米粒度仪,其工作原理基于颗粒在液体中的布朗运动及光散射现象。当单色激光照射到悬浮在液体中的纳米粒子上时,粒子会散射光线。由于粒子在液体中做布朗运动,导致散射光的强度随时间随机波动。通过光电探测...
在线计数粒径检测仪是一种集自动进样、自动稀释、自动检测、数据处理以及自动清洗等全自动检测功能于一身的先进设备,它为用户提供了方便、快捷、高效、可靠的粒径分析解决方案。其原理主要基于光的散射或衍射现象,这些现象与颗粒的大小、形状、折射率以及入...
不溶性微粒检测仪是一种用于检测液体中不溶性微粒大小和数量的重要分析仪器,主要采用光阻法或显微计数法来检测液体样品中的不溶性微粒。光阻法是通过激光束照射样本,利用散射光信号的强度和方向来确定微粒的数量和尺寸。显微计数法则是通过显微镜观察并计数...
磨料浆检测仪是一种用于测量和分析磨料浆特性的专业设备。采用先进的测量技术和算法,通过持续滴定、自动排废清洗等方式,实现对磨料浆的精确测量。同时,该设备还具备自动切断冷凝水等功能,减少能源浪费和环境污染。其广泛应用于石化工业、电力工业、航空造...
磨料浆检测仪是一种用于测量和分析磨料浆特性的专业设备。采用先进的测量技术和算法,通过持续滴定、自动排废清洗等方式,实现对磨料浆的精确测量。同时,该设备还具备自动切断冷凝水等功能,减少能源浪费和环境污染。其广泛应用于石化工业、电力工业、航空造...
高压微射流均质机是一种先进的流体处理设备,基于动态高压微射流技术。其工作原理是通过增压器使物料在高压作用下以高速流经微管通道,并进入微米级固定均质腔。物料流在此过程中受到高剪切力、高碰撞力、空穴效应等,从而获得理想的均质结果。PSI研发的增...
在分析聚合物乳液的粒径分布时,通常采用一种光散射方法。一般来说,光散射的方法分为两类:静态的和动态的。静态光散射,也被称为激光衍射,使用空间阵列探测器,记录散射光的角度为a的函数。静态光散射的原理是利用激光照射在一个非均匀介质中,由于光的波...